ชื่องานวิจัย

การสังเคราะห์ฟิล์มบางลีดเทลลูไรด์ด้วยระบบแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบพัลส์ดีซีที่ได้พัฒนาขึ้นเอง

บทคัดย่อ

ได้ทำการสังเคราะห์ฟิล์มบางลีดเทลลูไรด์ (PbTe) ด้วยระบบแมกนิตรอนสปัตเตอริง แบบพัลส์ดีซีที่ได้พัฒนาขึ้นเองโดยใช้เป้าเป็นผงผสมของ Pb : Teในอัตราส่วน 1 : 1 ความ บริสุทธิ์ 99.99 % กระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางภายใต้บรรยากาศแก็สอาร์กอนที่อุณหภูมิห้อง และทำการสปัตเตอริงเป็นเวลา 30 นาที หลังจากนั้นทำการแอนนีล(Annealing)ฟิล์มบางใน สุญญากาศที่อุณหภูมิ 423 K และ 523 K เป็นเวลา 1 ชั่วโมง และทำการตรวจสอบโครงสร้าง เชิงผลึก องค์ประกอบเชิงธาตุ ลักษณะพื้นผิว และความหนา (d) และวัดสภาพต้านทานไฟฟ้า (ρ) และสัมประสิทธิ์ซีเบก (S) ผลการวิจัยพบว่า ฟิล์มบาง PbTeที่ได้และผ่านการแอนนีลแล้วแสดง โครงสร้างผลึกแบบคิวบิก (FCC) และมีความเป็นผลึกเชิงเดี่ยวมากขึ้นตามอุณหภูมิการแอนนีลที่ เพิ่มขึ้น ความหนาของฟิล์มบางได้เพิ่มขึ้นจาก 460 nm เป็น 610 nm ที่อุณหภูมิการแอนนีล423 K และแล้วได้ลดลงเป็น 560 nm ที่อุณหภูมิการแอนนีล523 K นอกจากนี้ผลจากการ แอนนีล ทำให้สภาพเทอร์โมอิเล็กทริกเปลี่ยนแปลงจากชนิดพีเป็นชนิดเอ็นด้วยมีค่าสัมประสิทธิ์ ซีเบกเป็น +128, –280 และ –320 μV K–1 ส าหรับฟิล์มบางที่ผ่านการแอนนีลที่อุณหภูมิ 423 K และ 523 K ตามลำดับ และมีค่าแฟกเตอร์กำลังสูงขึ้นเป็นสิบเท่า

คำสำคัญ : เทอร์โมอิเล็กทริกแบบฟิล์มบาง ฟิล์มบางลีดเทลลูไรด์ ระบบแมกนิตรอนสปัตเตอริง แบบพัลส์ดีซี

ชื่อหัวหน้าโครงการวิจัย : ธีรวุฒิ สำเภา

ชื่อผู้ร่วมวิจัย : อาธรณ์วรอัด

เอกสารบทคัดย่อ